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2B3T系统

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在半导体及液晶面板行业超纯水制程中,离子交换因其对TOC以及二氧化硅、硼等离子优秀的脱除能力而被广泛应用。

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预过滤水从活性炭过滤器出来后,即被导入阳、阴离子交换器由阳离子交换器的顶部流向底部;此阳离子交换器内填装有强酸性阳树脂,包含钙、镁、钠、铵根等阳离子在此与氢离子(H+)进行置换。


从阳离子交换器出来的水通过脱气塔,去除二氧化碳,再流入阴离子交换器,阴离子交换器填装有弱碱性阴离子树脂(上层)与强碱性离子交换树脂(下层),亚硫酸根、硝酸根、氯离子、氟离子等阴离子在此从水中去除。


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